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核心提示：自1984年以来，固态传感器、执行器及微系统研讨会（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是
自1984年以来，固态传感器、执行器及微系统研讨会（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技术的展示舞台。该国际研讨会是MEMS领域最具竞争力的会议之一，众多提交的参会文摘中，只有10%的论文能够荣幸获得演讲机会。
固态传感器、执行器及微系统研讨会中硅基器件演讲论文的比例
学术研究人员现在开始专注于开发聚合物和纸基微型器件。利用这些材料开发的器件，不仅工艺环保，而且制作设备简单、成本较低。相对硅材料，它们大幅缩减了研发经费预算。许多聚合物和纸基微型器件的创新都指向了医疗应用，对该领域来说，生物相容性和材料的柔性是基本要求。
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纸基和聚合物微型器件的功能和性能开发，目前还处于相对早期的阶段，这类器件的生产设施目前也还没有开发出来。这些新技术的成熟和商业化，可能还需要超过10年的时间。
那些还寄希望于学术界来为他们开发新型硅基MEMS技术的产业从业者，估计要失望了，因为学术界研究人员已经开始逐渐放弃硅材料研究。
但是，基于硅材料的微型器件研究，还有很多创新工作要做，这意味着产业界需要重拾懈怠已久的硅材料研发，不然就会面临发展停滞的风险。五金网资讯
